咨询热线

18822857627

当前位置:首页  >  技术文章  >  介绍一下钨灯丝扫描电镜的调焦结构

介绍一下钨灯丝扫描电镜的调焦结构

更新时间:2023-02-27      点击次数:310
  钨灯丝扫描电镜装配的基本组件可以满足高分辨率成像的要求,这些基本组件不仅可以保证电镜高质量的成像,而且能够实现快速装载样品,短时间内成像。精确的自动聚焦和电子束自动对中使飞纳电镜系列成为市场上受用户欢迎、操作简单的钨灯丝扫描电镜。对于有高分辨率成像需求的用户来说,Phenom Pure可以提供经济、高效的解决方案。
 
  钨灯丝扫描电镜总发射电流和束斑都较大,抗干扰能力和稳定性都较好,低真空下可以对不导电样品无荷电成像,可用于形貌观察、显微结构分析、断口形貌分析,在材料、地质、矿产、冶金、机械、化学、化工、物理、电子、生物、医学等领域都有广泛的用途。
 
  无论是透明的材料或不透明材料、甚至荧光材料都可以分析出较为理想的效果。在较低放大率下,移动采样阶段可以找到待分析的样本、放大的和聚焦的样本。较简单的方法是找出边界明显的特征点,使用对比度、亮度、放大率和焦距来制作图像,然后在样本的基础上寻找或选择感兴趣的分析站点。
 
  钨灯丝扫描电镜的调焦结构分为微动调焦和粗动调焦两部分:
 
  1、微动调焦结构
 
  微动机构有齿轮式,杠杆式,行星轮式等结构形式,中以齿轮式粗、微动同轴结构使用得普通。
 
  2、粗动调焦结构
 
  粗动调焦机构一般采用齿轮与齿条的啮合运动形式,选用组织稳定而耐磨性较强的合金材料,并经过精密加工而成。
 
  当转动粗动手抡时,全相试样表面对光学系统发生相对运动,被调系统作准确的直线运动。移动时效尾与燕尾榴配合平稳,没合松动或过紧的现象。而齿轮与齿条的齿合精度由调整齿条与齿轮的中心距保证。