电感耦合等离子体光谱仪作为元素分析的核心设备，其性能稳定性和检测结果准确性高度依赖于科学规范的养护。以下是针对仪器关键部件及系统的养护方式详细说明，涵盖日常维护、定期保养、操作规范及环境管理等方面。
一、日常维护要点
1. 进样系统养护
- 冲洗程序：每次测试结束后，需用5%硝酸溶液冲洗进样管路5-10分钟，随后以超纯水冲洗3分钟，清除残留样品或沉淀物。对于高盐或高浓度样品，建议增加10%甲醇冲洗步骤以溶解潜在结晶。
- 蠕动泵维护：每日检查泵管弹性，若出现硬化、裂纹或磨损(如压痕深度>0.5mm)，立即更换。每月清洁泵头凹槽，避免样品残留腐蚀金属部件。
- 雾化器保养：测试后用清水喷雾清洗雾化器至少5分钟，定期(每周)拆卸雾化器，以棉签蘸取稀硝酸擦拭内壁，防止盐分堵塞。
2. 等离子体源维护
- 氩气纯度监控：确保氩气纯度≥99.995%，每日检查气路连接是否漏气(可用肥皂水试漏)。更换氩气瓶时，需充分排放管道内空气，避免氧气进入导致炬管损坏。
- 炬管状态检查：每测试500-800小时或发现等离子体不稳定时，检查炬管有无烧蚀、变形或积碳。若出现异常放电、等离子体发蓝或闪烁，需停机更换中心管或旋流环。
3. 光学系统维护
- 透镜清洁：每日测试前后用无尘布蘸取乙醇擦拭石英窗片，去除指纹或油污。每月使用专业镜头纸清洁分光系统反射镜，避免灰尘影响光路。
- 波长校准：每周开机后执行汞灯或氖灯校准，检查特征谱线偏移量是否在±0.01nm范围内，超出则需重新调整光栅位置。
二、定期深度保养
1. 气体流量系统
- 质量流量计校准：每季度使用标准流量计校验氩气工作气、辅助气及载气的流量偏差，要求误差<2%。若重复性差，需清洗流量计传感器或更换滤芯。
- 气路干燥处理：潮湿地区每月检查气路过滤器，更换分子筛干燥剂，防止水分进入等离子体引发放电不稳。
2. 检测器维护
- CCD/CID探测器清洁：每半年停机后，在无尘环境下打开检测器仓，用氮吹扫表面灰尘，避免手指接触芯片。若检测暗电流显著升高，需联系厂商进行增益校准。
- 制冷系统检查：每年检测半导体制冷片温度控制精度，确保-20℃±1℃稳定运行，防止高温导致探测器噪声增加。
3. 电路与软件维护
- 接地电阻检测：每月测试仪器接地电阻，要求≤4Ω。若电阻偏高，需加粗接地线或增设接地点。
- 软件版本更新：定期检查厂商发布的固件补丁，升级数据采集或定量分析算法，修复潜在计算误差。
三、环境与操作规范
1. 实验室环境控制
- 温度：20-25℃(±2℃)，避免光学元件热胀冷缩导致波长漂移。
- 湿度：<60%RH，高湿度地区需配置除湿机，防止电路板受潮短路。
- 洁净度：配备空气净化器，保持PM10<50μg/m³，避免颗粒物污染光路。
2. 开关机规范
- 开机顺序：先通氩气排空5分钟→开启冷却循环水→启动主机→预热30分钟。
- 关机顺序：熄灭等离子体→待炬管冷却至<50℃→关闭主机→关闭氩气。严禁直接断电导致炬管过热损坏。
3. 异常处理预案
- 突发熄火：立即检查氩气压力，若正常则排查炬管位置或样品引入系统堵塞。
- 基线噪声增大：依次检查屏蔽线连接、电源干扰及检测器温度稳定性。
