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钨灯丝扫描电子显微镜主要的性能参数有哪几点

发布时间:2022-08-27      点击次数:68
  钨灯丝扫描电子显微镜正是根据上述不同信息产生的机理,采用不同的信息检测器,使选择检测得以实现。如对二次电子、背散射电子的采集,可得到有关物质微观形貌的信息;对x射线的采集,可得到物质化学成分的信息。
 
  扫描电镜的另一个重要特点是景深大,图像立体扫描电镜的透射电镜是光学显微镜的10倍由于图像景深较大,获得的扫描电子图像具有三维感强、形状三维等特点,比其他显微镜能提供更多的信息,对用户有很大的价值扫描电镜所表明断裂形态从深层和高景深的角度反映了材料断裂的性质,在教学科研和生产中具有不可替代的作用,是材料断裂原因分析、事故原因分析、工艺合理性确定等方面的有力工具。
 
  因电子照射而发生试样的损伤和污染程度很小。扫描电镜同其他方式的电子显微镜比较,由于用于观察的电子探针电流小,电子探针的束斑尺寸小,电子探针的能量也小此外,它不会在固定处照射样品,而是通过光栅扫描照射样品因此,对一些生物样品进行观察是非常重要的,因为样品的损伤和污染程度都很小。
 
  钨灯丝扫描电子显微镜主要性能参数
 
  1、分辨率
 
  对微区成分分析而言,分辨率指能分析的最小区域;对成像而言,它是指能分辨两点间的最小距离。
 
  钨灯丝扫描电子显微镜分辨率主要受三方面影响:入射电子束束斑直径、入射电子束在样品中的扩展效应、成像方式及所用的调制信号。
 
  二次电子像的分辨率约为5-10nm,背散射电子像的分辨率约为50-200nm。一般来说钨灯丝扫描电子显微镜分辨率指的是二次电子像的分辨率。
 
  2、放大倍数
 
  放大倍数可从十倍到几十万倍连续可调。
 
  放大倍数:M=L/I,其中L是显像管尺寸,I是光栅扫描时相邻两点间距。M通过调节扫描线圈电流进行,电流小则电子束偏转角度小,放大倍数增大。放大倍率不是越大越好,要根据有效放大倍率和分析样品的需要进行选择,与分辨率保持一定关系。
 
  3、景深
 
  景深指一个透镜对高低不平的试样各部位能同时聚焦成像的一个能力范围。估算景深D=2 r/a=0.2/(aM)mm,a-电子束张角,M-放大倍数。物镜采用小孔视角、长焦距,可获得很大景深。
 
  4、衬度
 
  包括表面形貌衬度和原子序数衬度。表面形貌衬度由试样表面的不平整性引起。原子序数衬度指扫描电子束入射试祥时产生的背散射电子、吸收电子、X射线,对微区内原子序数的差异相当敏感。原子序数越大,图像越亮。二次电子受原子序数的影响较小。高分子中各组分之间的平均原子序数差别不大;所以只有—些特殊的高分子多相体系才能利用这种衬度成像。