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场发射扫描电镜的两种分类介绍

发布时间:2022-08-27      点击次数:167
场发射扫描电镜(FESEM)是电子显微镜的一种,其原理是利用二次电子或背散射电子成像,对样品表面放大一定的倍数进行形貌观察,同时利用电子激发出样品表面的特征X射线来对微区的成分进行定性定量分析。
 
场发射扫描电镜的分类:
 
1、冷场发射扫描电镜
 
冷场发射扫描电镜优点是电子束直径小,亮度高,因此影像分辨率高。能量散布小,故能改善在低电压操作的效果。为避免针尖被外来气体吸附,而降低场发射电流,并使发射电流不稳定,冷场发射式电子枪必需在10^-10torr的真空度下操作,虽然如此,还是需要定时短暂加热针尖至2500K(此过程叫做flashing),以去除所吸附的气体原子。它的另一缺点是发射的总电流小。
 
2、热场发射扫描电镜
 
热场发射扫描电镜是在1800K温度下操作,避免了大部份的气体分子吸附在针尖表面,所以免除了针尖flashing的需要。热式能维持较佳的发射电流稳定度,并能在较差的真空度下(10^-9torr)操作。虽然亮度与冷式相类似,但其电子能量散布却比冷式大3~5倍,影像分辨率较差,通常较不常使用。